现在现已运用的蚀刻液类型有六种类型： 酸性氯化铜 碱性氯化铜 氯化铁 过硫酸铵 硫酸 /铬酸 硫酸 /双氧水蚀刻液。

　　现在现已运用的蚀刻液类型有六种类型： 酸性氯化铜 碱性氯化铜 氯化铁 过硫酸铵 硫酸 /铬酸 硫酸 /双氧水蚀刻液。

　　影响蚀刻速率的要素：影响蚀刻速率的重要的要素是溶液中 CI-、Cu+ 、Cu2+ 的含量

　　a、 CI-含量的影响：溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着亲近的联系， 当盐酸浓度升高时，

　　蚀刻时刻削减。在含有 6N 的 HCI 溶液中蚀刻时刻至少是在水溶液里的 1/3 ，还可以进步 溶铜量。可是，盐酸浓度不行超越 6N，高于6N盐酸的蒸发量大且对设备腐蚀，而且跟着

　　添加 CI- 能大大的提高蚀刻速率的原因是：在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻反响时，生成的

　　Cu2CI2 不易溶于水，则在铜的标明发生一层氯化亚铜膜，这种膜可以阻挠反响的进一步进 行。过量的 CI- 能与 Cu2CI2 络合构成可溶性的络离子 (CuCI3)2- ，从铜表面上溶解下来，从 而进步了蚀刻速率。

　　b、 Cu+ 含量的影响：依据蚀刻反响机理，跟着铜的蚀刻就会构成一价铜离子。较微量

　　的 Cu+ 就会明显的下降蚀刻速率。 所以在蚀刻操作中要坚持 Cu+ 的含量在一个低的范围内。

　　c、 Cu2+ 含量的影响：溶液中的 Cu2+ 含量对蚀刻速率有必定的影响。正常的情况下，溶 液中 Cu2+ 浓度低于 2moI/L 时，蚀刻速率较低；在 2moI/L 时速率较高。跟着蚀刻反响的不 断进行，蚀刻液中铜的含量会逐步添加。当铜含量添加到必定浓度时，蚀刻速率就会下降。 为了坚持蚀刻液具有安稳的蚀刻速率，有必要把溶液中的含铜量操控在必定的范围内。

　　d、 温度对蚀刻速率的影响：跟着温度的升高，蚀刻速率加速，可是温度也不宜过高，

　　一般操控在45~55 C范围内。温度太高会引起 HCI过多地蒸发，形成溶液组分比例失调。

　　影响蚀刻速率的要素：蚀刻液中的 Cu2+ 浓度、 pH 值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温 度对蚀刻速率均有影响。

　　a、 Cu2+ 离子浓度的影响： Cu2+ 是氧化剂，所以 Cu2+ 的浓度是影响蚀刻速率的首要 要素。研讨铜浓度与蚀刻速率的联系标明：在 0~82g/L 时，蚀刻时刻长；在 82~120g/L 时， 蚀刻速率较低， 且溶液操控困难； 在 135~165g/L 时，蚀刻速率高且溶液安稳； 在 165~225g/L 时，溶液不安稳，趋向于发生沉积。

　　b、 溶液pH值的影响：蚀刻液的 ~， 时，一方面临金属抗蚀层晦气； 另一方面，蚀刻液中的铜不能被彻底络组成铜氨络离子，溶 液要呈现沉积， 并在