2)影响蚀刻速率的要素：影响蚀刻速率的重要的要素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+的含量

　　a、Cl-含量的影响：溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着亲近的联系，当盐酸浓度升高时，

　　蚀刻时刻削减。在含有6N的HCl溶液中蚀刻时刻至少是在水溶液里的1/3，还可以进步

　　溶铜量。可是，盐酸浓度不行超越6N，高于6N盐酸的蒸发量大且对设备腐蚀，而且跟着

　　增加Cl-能大大的进步蚀刻速率的原因是：在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻反响时，生成的

　　Cu2Cl2不易溶于水，则在铜的标明发生一层氯化亚铜膜，这种膜可以阻挠反响的进一步进

　　行。过量的Cl-能与Cu2Cl2络合构成可溶性的络离子(CuCl3)2-，从铜外表上溶解下来，从

　　b、Cu+含量的影响：依据蚀刻反响机理，跟着铜的蚀刻就会构成一价铜离子。较微量

　　的Cu+就会显着的下降蚀刻速率。所以在蚀刻操作中要坚持Cu+的含量在一个低的范围内。

　　c、Cu2+含量的影响：溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有必定的影响。正常的情况下，溶

　　液中Cu2+浓度低于2mol/L时，蚀刻速率较低；在2mol/L时速率较高。跟着蚀刻反响的不

　　断进行，蚀刻液中铜的含量会逐步增加。当铜含量增加到必定浓度时，蚀刻速率就会下降。

　　为了坚持蚀刻液具有安稳的蚀刻速率，有必要把溶液中的含铜量操控在必定的范围内。

　　d、温度对蚀刻速率的影响：跟着温度的升高，蚀刻速率加速，可是温度也不宜过高，

　　一般操控在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地蒸发，构成溶液组分比例失调。

　　2)影响蚀刻速率的要素：蚀刻液中的Cu2+浓度、pH值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温

　　a、Cu2+离子浓度的影响：Cu2+是氧化剂，所以Cu2+的浓度是影响蚀刻速率的首要

　　要素。研讨铜浓度与蚀刻速率的联系标明：在0~82g/L时，蚀刻时刻长；在82~120g/L时，

　　蚀刻速率较低，且溶液操控困难；在135~165g/L时，蚀刻速率高且溶液安稳；在165~225g/L

　　b、溶液pH值的影响：蚀刻液的pH值应坚持在8.0~8.8之间，当pH值降到8.0以下

　　时，一方面临金属抗蚀层晦气；另一方面，蚀刻液中的铜不能被彻底络组成铜氨络离子，溶

　　液要呈现沉积，并在槽底构成泥状沉积，这些泥状沉积能在加热器上结成硬皮，或许损坏加

　　热器，还会阻塞泵和喷嘴，给蚀刻构成困难。假如溶液pH值过高，蚀刻液中氨过饱和，游

　　离氨释放到大气中，导致环境污染；一起，溶液的pH值增大也会增大侧蚀的程度，然后影

　　c、氯化铵含量的影响：经过蚀刻再生的化学反响可以精确的看出：[Cu(NH3)2]+的再生需求

　　有过量的NH3和NH4Cl存在，假如溶液中缺少NH4Cl，很多的[Cu(NH3)2]+得不到再生，

　　蚀刻速率就会下降，致使失掉蚀刻才能。所以，氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。跟着蚀

　　d、温度的影响：蚀刻速率与温度有很大联系，蚀刻速率跟着温度的升高而加速。蚀刻

　　液温度低于40℃，蚀刻速率很慢，而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量，影响蚀刻质量；温度高

　　于60℃，蚀刻速率显着增大，但NH3的蒸发量也大幅度进步，导致对环境构成污染并使蚀刻液中化

　　a、Fe3+浓度的影响：Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐步

　　增加，对铜的蚀刻速率相应加速。当所含超越某一浓度时，因为溶液粘度增加，蚀刻速率反

　　b、蚀刻液温度的影响：蚀刻液温度越高，蚀刻速率越快，温度的挑选应以不损坏抗蚀

　　c、盐酸增加量的影响：在蚀刻液中参加盐酸，能按捺FeCl3水解，并可进步蚀刻速

　　率，尤其是当溶铜量到达37.4g/L后，盐酸的效果更显着。可是盐酸的增加量要恰当，酸度

　　d、蚀刻液的拌和：停止蚀刻的功率和质量都是很差的，原因是在蚀刻过程中在板面和

　　印制正图画的印制板→查看修版→碱性清洗（可挑选）→水洗→外表微蚀刻（可挑选）

　　→水洗→查看→酸性蚀刻→水洗→酸性清洗例如5%～10%HCl→水洗→吹干→查看→去膜

　　镀覆金属抗蚀层的印制板→去膜→水洗→吹干→查看修版→碱性蚀刻→用不含Cu2+的