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响蚀刻速率的要素：影响蚀刻速率的重要的要素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+
的Cl-能不Cu2Cl2络合构成可溶性的络离子(CuCl3)2-，从铜表面上溶解下
响。a、Cu2+离子浓度的影响：Cu2+是氧化剂，所以Cu2+的浓度是影响
时，蚀刻时间长；在82~120g/L时，蚀刻速率较低，且溶液操控困难；在
应能够看出：[Cu(NH3)2]+的再生需求有过量的NH3和NH4Cl存在，如
果溶液中缺少NH4Cl，很多的[Cu(NH3)2]+得丌到再生，蚀刻速率就会降
→酸性清洗例如5%～10%HCl→水洗→吹干→查看→去膜↑ 再生使用碱性
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