【48812】显影液和蚀刻液

来源:半岛综合体育入口    发布时间:2024-07-18 08:18:14

  蚀刻是将资料运用化学反响或物理碰击作用而移除的技能。蚀刻技能可分为湿蚀刻和干蚀刻,在湿蚀刻中运用化学溶液,经由化学反响以到达蚀刻的意图,而干蚀刻通常是一种等离子体蚀刻,其作用可能是等离子体碰击芯片外表的物理作用,或许可能是等离子体活性基与芯片外表原子间的化学反响,乃至也可能是两者的复合作用。

  公司的根本的产品是光阻蚀刻液,是一种电子感光资料,应用在电子线路图形印刻等方面,别的AZ还供给电在答应电压下不导电的资料,光膜资料和硅制品等。

  氯化铜蚀刻液由氯化铜(CuCl2・2H2O)盐酸(HCl)过氧化氢(H2O2)水(H2O)组成;三氯化铁蚀刻液是由三氯化铁(FeCl3)盐酸(HCl)水(H2O)组成的;碱性蚀刻液的主要成分是有铜氨络离子;硫酸/过氧化氢(双氧水)蚀刻液以硫酸与过氧化氢(双氧水)为主成分。

  以蚀刻液氯化铜及氯化铁的商场运用情况,PCB厂商约有95%运用氯化铜(CuCl2),IC载板厂商约80%运用氯化铁(FeCl3),20%运用氯化铜(CuCl2)

  在集成电路制作的完好过程中,常需要在晶圆上定义出极纤细尺度的图画,它们的构成能够借由蚀刻技能完结。前期半导体制程中所选用的蚀刻方法为湿蚀刻,主要是借由溶液与待蚀刻原料间的化学反响,因而可借由分配与选取恰当的化学溶液,得到所需的蚀刻速率,以及待蚀刻资料与光阻及基层原料杰出的蚀刻挑选比。可是跟着集成电路中组件尺度越做越小,由于化学反响没有方向性,而湿蚀刻是等向性的,此刻当蚀刻溶液做纵向蚀刻时,侧向的蚀刻将同时发生,从而构成底切现象,导致图画线宽失真。因而湿蚀刻在次微米组件(3微米以下)的制程中已蚀刻所替代。

  铝或铝合金的湿蚀刻主要是使用磷酸、硝酸、醋酸及水的混合溶液加以进行,典型的份额为80%的磷酸、5%的硝酸、5%的醋酸及10%的水。由硝酸将铝氧化成氧化铝,接着再使用磷酸将氧化铝予以溶解去除Hale Waihona Puke Baidu如此重复进行以到达蚀刻的作用。

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  半导体制程中常见的几种物质的湿蚀刻是硅、二氧化硅、氮化硅及铝。单晶硅与复晶硅的蚀刻通常是使用硝酸与氢氟酸的混合液来进行,此反响是使用硝酸将硅外表氧化成二氧化硅,再使用氢氟酸将构成的二氧化硅溶剂去除,反响如下:

  主要由双氧水和盐酸构成构成的过氯酸来腐蚀铬,由于各厂家技能要求目标不同,所以其间相关化学成分的配比也不一样。(由HCLO4Ce(NH4)2(NO3)6H2O组成反响物质)

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  蚀刻液主要有氯化铜液、三氯化铁液、碱性蚀刻液、硫酸/过氧化氢(双氧水)系蚀刻液。