中证网讯（王珞）第十一届我国半导体设备年会暨半导体设备与中心部件展现会(CSEAC)日前举办。万业企业旗下离子注入机职业龙头企业上海凯世通半导体股份有限公司携中心产品、要害技能、解决方案重磅露脸此次展会，并与我国半导体职业专家学者、业界精英共话半导体产业链立异开展。

　　作为国内首家集成电路范畴低能大束流离子注入机和高能离子注入机获得验证检验及商业订单的设备企业，2020年至今，凯世通已获得多家12英寸集成电路制作厂干流客户的离子注入机收买订单，累计设备订单超越10亿元。本次展会上，凯世通展现了“低能大束流离子注入机iStellar-500”和“高能离子注入机iStellar-HE2000设备”模型，招引观众纷繁停步。

　　据悉，低能大束流离子注入机iStellar-500系列产品选用“通用渠道+要害技能模块”研制形式，快速迭代晋级并拓宽离子注入机产品线，掩盖不同芯片对离子注入的需求，定坐落为客户供给更高可靠性、更低具有本钱的产品，并具有杰出的产线工艺匹配才能和广泛的制程掩盖才能。另一款高能离子注入机设备iStellar-HE2000则选用了高压加快、高注入视点精准度、纳米级颗粒污染操控等要害技能，满意芯片制作的高能离子注入需求。

　　凭仗杰出的技能实力，凯世通已获得了上海市科学技能委员会专项“高能离子注入机要害技能研究与样机验证”、上海市高新技能企业、上海市小伟人企业、上海市专精特新中小企业、上海市高新技能成果转化项目（低能大束流离子注入机）、上海“市级企业技能中心”、上海市科技进步二等奖、北京市科技进步一等奖称谓等荣誉。

　　据世界半导体产业协会（SEMI）“全球半导体设备商场陈述”显现，2022年全球半导体制作设备出货金额达1,076亿美元，较上年度增幅5%，再创前史新高。当时，我国大陆半导体设备以总额283亿美元的销售额，接连三年成为全球最大半导体设备商场，结合国家方针层面来看，半导体产业链国产化为长时间开展逻辑，设备及零部件正迎来加快期。

　　值得一提的是，在大会半导体制作技能与设备资料董事长论坛圆桌对话环节中，凯世通董事长李勇军博士表明，离子注入是集成电路制作过程中构成PN结的要害工艺，从热扩散到离子注入，半导体技能的演进不断对工艺提出新的要求，也不断产生新的迭代，比如超低温、重金属、氢注入等。因而，咱们也在一直在不断地加强与很多科研院所的严密协作，活跃进行研制储藏，经过不断夯实技能根底，提高本身中心竞争力。

　　技能研制水平是支撑企业长时间开展的要害驱动力。在前道中心设备范畴，凯世通一直坚持以高水平科技自立自强战略，聚集集成电路高端离子注入机，建立了一支由尖端离子注入设备专家引领的有队伍、有层次、多元化的技能立异团队，专业方向包括等离子体物理、真空机械、高压电气、软件操控、系统集成等10多个范畴，具有厚实的理论知识与丰厚的工程实践经验，屡次承当国家及上海市科技专项，先后荣获上海市科技进步二等奖、北京市科技进步一等奖等荣誉。

　　跟着本年5月，凯世通坐落上海浦东金桥的新研制制作基地正式启用，作为增强其要害配备离子注入机研制与产业化才能的重要行动之一，将进一步提高凯世通研制、客服、产能保证等全方位才能，助力国产高端集成电路配备高质量开展。

　　未来，凯世通将持续加大研制投入，推进技能攻坚拓宽技能上限，坚持以满意客户芯片制作需求与职业前沿技能为导向，为客户供给更高可靠性与稳定性的制作配备，并将不断提高前道设备范畴竞争力，助推万业企业“1+N”设备渠道化战略加快翻开更宽广的生长空间。

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