化学蚀刻因其简略易操作、本钱低，加工周期短等长处在加工范畴得到遍及的使用，为航空航天、船只、半导体等职业的精细零件加工处理了许多难题。蚀刻液品种较多，比方印制电路板（PCB）中常用的就有酸性氯化铜、碱性氯化铜、三氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸和硫酸/双氧水等六大类型蚀刻液。蚀刻液系统中的氯离子、硫酸根离子、硝酸根离子等具有蚀刻速率安稳、蚀刻均匀、易再生、出产所带来的本钱低一级长处，遭到更多的重视。

　　为了确认蚀刻液的适合组分份额及工艺条件，需求确认溶液中这些影响主要性能的阴离子含量。现在，测定溶液中的离子常用的办法为离子色谱法，本文依据以往经历经过对样品前处理及试验条件的探索，建立了离子色谱法测定蚀刻液中氯离子、硝酸根离子和硫酸根离子办法，供有关人员参阅。

　　蚀刻液样品原液别离经过Na柱、H柱净化，然后稀释5000倍，用0.22滤膜过滤，滤液备用。

　　图1 氯离子（40μg/ml）硝酸根离子（8μg/ml）硫酸根离子（40μg/ml）

　　别离制作下表格中浓度的混合溶液，依照仪器条件顺次上机试验，得到各离子的规范曲线，如下图：

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