费率方面，半导体芯片ETF（516350）每年办理费率0.15%，每年保管费率0.05%。
中证芯片工业指数从沪深A股中选取事务触及芯片规划、制作、封装与测验等范畴，以及为芯片供给半导体资料、晶圆出产设备、封装测验设备等物料或设备的上市公司股票作为样本股，以反映芯片工业上市公司股票的全体体现。
从申万三级职业分类看，数字芯片规划、半导体设备、集成电路制作为指数前三大职业，权重占比分别为39%、20%、9%，前三大职业权重算计占比约68%。
德邦证券研报以为，国内半导体设备代替进程有望进一步加快，其间此前日系设备比例较高的环节（比方涂胶显影设备等）估计最为获益。一起，受下流晶圆厂扩产带动，本年国内半导体设备公司发货及出产量等指标高增，估计设备公司本年新签订单状况杰出。