【48812】韩国半导体厂商研制 ALD 新技能下降 EUV 工艺过程需求

来源:半岛综合体育入口    发布时间:2024-07-16 12:31:35

  IT之家 7 月 16 日音讯,韩媒 The Elec 报导,韩国半导体公司周星工程(Jusung Engineering)最新研制出原子层堆积(ALD)技能,

  IT之家注:极紫外光刻(EUV)又称作超紫外线平版印刷术,是一种运用极紫外光波长的光刻技能,现在用于 7 纳米以下的先进制程,于 2020 年得到遍及使用。

  周星工程董事长 Chul Joo Hwang 表明当时 DRAM 和逻辑芯片的扩展已达到极限,因而就需求像 NAND 相同,经过堆叠晶体管的方法战胜这个问题。

  半导体职业假如想要把晶体管微缩到更小尺度,一种计划便是堆叠晶体管,其间一个佐证是深紫外线(DUV)设备有望用来出产 3D DRAM。

  Hwang 说,跟着堆叠渐渐的变重要,ALD 机器的需求也将添加。III-V 和 IGZO 半导体的出产也需求 ALD 设备。