蚀刻液及其制备方法与流程

来源:半岛综合体育入口    发布时间:2024-07-12 18:32:29

  1.一种蚀刻液,其特征是,包含有浓度大于或等于5g/l的蚀刻剂,所述蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐;

  所述碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种。

  2.根据权利要求1所述的蚀刻液,其特征是,所述酸性盐选自磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、磷酸二氢锂、硫酸氢钠、硫酸氢钾和硫酸氢锂中的至少一种;和/或

  所述碱性盐选自碳酸钠、碳酸钾、碳酸锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾、碳酸氢锂、亚硫酸钠、亚硫酸锂、亚硫酸钾、乙酸锂、乙酸钠、乙酸钾、磷酸钠、磷酸钾、磷酸锂、次氯酸锂、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种。

  3.根据权利要求1所述的蚀刻液,其特征是,所述蚀刻剂在所述蚀刻液中的浓度为5-300g/l。

  4.根据权利要求1所述的蚀刻液,其特征是,所述蚀刻液用于蚀刻两性金属;和/或

  5.根据权利要求4所述的蚀刻液,其特征是,所述两性金属选自铝金属或铝合金。

  6.根据权利要求1至5任一项所述的蚀刻液,其特征是,所述蚀刻液还包含有:浓度为0.5-5g/l的表面活性剂,以及浓度为0.1-5g/l的缓蚀剂。

  7.根据权利要求6所述的蚀刻液,其特征是,所述表面活性剂选自硬脂酸、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基醇酰胺、三乙醇胺、苯扎氯铵中的至少一种;和/或

  所述缓蚀剂选自铬酸钠、亚硝酸钠、硼酸钠、六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一种。

  8.根据权利要求6所述的蚀刻液,其特征是,所述蚀刻液包括以下浓度组分:

  9.根据权利要求1至5任一项所述的蚀刻液,其特征是,所述蚀刻液的工作时候的温度为20℃-50℃。

  提供蚀刻剂,所述蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐,所述酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐,所述碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种;

  本发明属于蚀刻技术领域,尤其涉及一种蚀刻液及其制备方法。本发明提供的蚀刻液包含有浓度大于或等于5g/L的蚀刻剂,蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐;酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐;碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种。该蚀刻液可实现对金属材料的蚀刻,反应条件温和,速度可控,蚀刻精度高,且蚀刻表面十分光滑平整,适用于蚀刻金属箔片以及具有复杂外形的三维金属器件,保证产品质量。

  用于液晶玻璃蚀刻装置的药液的更新方法、药液更新用喷嘴及更新用药液的制作的过程