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　　酸性氯化铜碱性氯化铜氯化铁过硫酸铵硫酸/铬酸硫酸/双氧水蚀刻液前三种常用。

　　2)影响蚀刻速率的要素：影响蚀刻速率的重要的要素是溶液中Cl-、Cu+、Cu2+

　　a、Cl-含量的影响：溶液中氯离子浓度与蚀刻速率有着亲近的联络，当盐酸浓度

　　升高时，蚀刻时刻削减。在含有6N的HCl溶液中蚀刻时刻至少是在水溶液里的

　　1/3，还可以进步溶铜量。可是，盐酸浓度不行超越6N，高于6N盐酸的蒸发量大

　　且对设备腐蚀，而且跟着酸浓度的增加，氯化铜的溶解度敏捷下降。增加Cl-可以提

　　高蚀刻速率，原因是：在氯化铜溶液中发生铜的蚀刻反响时，生成的Cu2Cl2不易溶

　　于水，则在铜的标明发生一层氯化亚铜膜，这种膜可以阻挠反响的进一步进行。过量

　　的Cl-能与Cu2Cl2络合构成可溶性的络离子(CuCl3)2-，从铜表面上溶解下来，然后

　　b、Cu+含量的影响：依据蚀刻反响机理，跟着铜的蚀刻就会构成一价铜离子。

　　较微量的Cu+就会显着的下降蚀刻速率。所以在蚀刻操作中要坚持Cu+的含量在一

　　c、Cu2+含量的影响：溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有必定的影响。一般状况

　　下，溶液中Cu2+浓度低于2mol/L时，蚀刻速率较低；在2mol/L时速率较高。随

　　着蚀刻反响的不断进行，蚀刻液中铜的含量会逐步增加。当铜含量增加到必定浓度时，

　　蚀刻速率就会下降。为了坚持蚀刻液具有稳定的蚀刻速率，有必要把溶液中的含铜量控

　　过高，一般操控在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地蒸发，形成溶液组

　　2)影响蚀刻速率的要素：蚀刻液中的Cu2+浓度、pH值、氯化铵浓度以及蚀刻

　　a、Cu2+离子浓度的影响：Cu2+是氧化剂，所以Cu2+的浓度是影响蚀刻速率

　　的重要的要素。研讨铜浓度与蚀刻速率的联络标明：在0~82g/L时，蚀刻时刻长；在

　　82~120g/L时，蚀刻速率较低，且溶液操控困难；在135~165g/L时，蚀刻速率高

　　b、溶液pH值的影响：蚀刻液的pH值应坚持在~之间，当pH值降到以下时，

　　一方面临金属抗蚀层晦气；另一方面，蚀刻液中的铜不能被彻底络组成铜氨络离子，

　　假如溶液pH值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨释放到大气中，导致环境污染；同

　　c、氯化铵含量的影响：经过蚀刻再生的化学反响可以精确的看出：[Cu(NH3)2]+的再

　　[Cu(NH3)2]+得不到再生，蚀刻速率就会下降，致使失掉蚀刻才能。所以，氯化铵

　　d、温度的影响：蚀刻速率与温度有很大联络，蚀刻速率跟着温度的升高而加速。

　　蚀刻液温度不高于40℃，蚀刻速率很慢，而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量，影响蚀刻质

　　量；温度高于60℃，蚀刻速率显着增大，但NH3的蒸发量也大幅度进步，导致污染环

　　a、Fe3+浓度的影响：Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓

　　度逐步增加，对铜的蚀刻速率相应加速。当所含超越某一浓度时，因为溶液粘度增加，

　　c、盐酸增加量的影响：在蚀刻液中参加盐酸，能按捺FeCl3水解，并可进步

　　蚀刻速率，尤其是当溶铜量到达/L 后，盐酸的效果更显着。可是盐酸的增加量要适

　　板面和溶液里会有沉积生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉积会影响进一步的蚀刻。

　　挑选）→水洗→查看→酸性蚀刻→水洗→酸性清洗例如5%～10%HCl→水洗→吹干

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